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氣體知識

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砷烷AsH3合成方法及研究

2012-3-5 16:33:55

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    砷烷是GaAs、GaAsP生長、N型硅外延、擴(kuò)散、離子注入摻雜等不可缺少的基礎(chǔ)材料,因其劇毒、純度要求高,合成、凈化難度大等因素,目前能制造AsH3的國家為數(shù)不多,同時由于局毒性,在當(dāng)今的國際大背景下,AsH3的進(jìn)口十分麻煩。
 
    AsH3的合成方法非常經(jīng)典,也是目前較為普遍的工藝。制備分兩步:原料的合成采用混合的Zn粉及As粉在600~620攝氏度下高溫合成,其反應(yīng):Zn+As→Zn3As2;另一步是用Zn3As2同稀硫酸作用,Zn3As2+H2SO4→AsH3+ZnSO4,產(chǎn)品的收率為80%以上。生成的AsH3雜質(zhì)的含量取決于Zn3As2的純度,通過系列的提純單元,AsH3純度大于99.9995%以上。
 
    國外有學(xué)者研究出新的無機(jī)氫化物的合成方法,只是沒有形成規(guī)?;?。該工藝的優(yōu)點(diǎn)是可以生產(chǎn)系列有價值的氫化物:
 
    PCl3+LiH→PH3
    AsCl3+LiH→AsH3
    SbCl3+LiH→SbH3
 
    相信這種新技術(shù)或許會對一些烷類氣體合成的突破起到重大的作用。
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